Сканирующие зеркала

Скачать статью "Оптика для Nd:YAG лазеров " (PDF, 186 KB)
Чертеж сканируемого зеркала Для оптических систем доставки излучения, где, с одной стороны, наиважнейшим требованием является достижение высоких параметров отражения, а с другой - их стабилизация в определенном диапазоне углов падения, мы предлагаем сканирующие зеркала. Они, как правило, изготавливаются по специальному дизайну, однако мы выделяем несколько типов, являющихся для нас стандартными. В подобных системах используются преимущественно два зеркала, которые позволяют изменять траекторию луча на плоскости в двух направлениях. Такие зеркала называются X и Y зеркала.

Основная спецификация:

Материал КУ-1, Si
Общая ошибка на 633 нм λ/2
Чистота поверхности 3 класс оптической чистоты
Световой диаметр более 85% диаметра (габарита линзы)
Допуск на диаметр (габариты) +0/-0.25 мм
Допуск на толщину: +/-0.25 мм
Разнотолщинность по краю <=0.05 мм
Покрытие диэлектрическое, металло-диэлектрическое, металлическое
Порог повреждения 2-5 Дж/см2 в зависимости от типа покрытия

Модификация Поперечные размеры, мм Толщина, мм Диапозон углов, угл.радиус
A B
1 X-зеркало 18 11.5 1.5 45
2 Y-зеркало 22 15.5 1.5 45
3 зеркало 65 55 10 30-45
4 зеркало 75 40 10 30-45
5 зеркало 80 30 10 30-45

Ниже приведена типичная кривая отражения сканирующего зеркала:

Сканирующее зеркало из Si, HR (R>99%)@1064 нм и (R>90%)@633 нм, AOI=45°

Рис. 1. Сканирующее зеркало из Si, HR (R>99%)@1064 нм и (R>90%)@633 нм, AOI=45°.